Ультра-точный прибор для измерения плоскостности SF-640M разработан как система оценки точности заготовки для штампов и т. д., основан на технологии, разработанной уникально для «NANOMETRO®»

Ультра-прецизионный прибор Kuroda для измерения формы поверхности для кремниевых пластин позволяет проводить высокоточную оценку поверхности и краев с использованием опций просмотра: вид «с высоты птичьего полёта», диаграмма поперечного сечения, контурные линии и т. д.

Прибор оснащен различными программами для визуализации и анализа, разработанными наиболее для оптимальной оценки измерений. Подходит для измерения плоскости заготовок, изготовленных из различных материалов: металлов, керамики, стекла и всех видов пластин. Конструкция прибора продумана до мелочей и обеспечивает безопасность, удобство в применении, а также высокую точность.