Это серия приборов включает в себя / состоит из вращающегося стола на воздушных опорах и применяется для измерения контура поверхности керамических плит для полировки полупроводниковых пластин и дисков (до Ф1000 мм), таких, например, как притирочные плиты.

Программное обеспечение предназначено для выполнения разнообразных видов измерений, например измерение концентрический окружности для более глубокого оценивания.

Технические характеристики:
Модель NANOMETRO 700FR NANOMETRO 1000FR
Диапазон измерения φ700мм(макс.) φ1000мм(макс.)
Общая погрешность 0.4мкм 0.6мкм
Макс. рабочая масса 60кг 80кг