Система NANOMETRO® Серии F

Система NANOMETRO® Серии F

Высокоточное измерение контура поверхности полупроводниковых пластин, стеклянных пластин для дисплеев с плоским экраном.

Технические характеристики:

Модель NANOMETRO 110F NANOMETRO 330F NANOMETRO 750F
Диапазон измерения X:100мм/Y:100мм X:300мм/Y:300мм X:700мм/Y:500мм
Общая погрешность 0.4мкм 0.6мкм
Точность повторения 0.05мкм(σ) 0.1мкм(σ)
Направляющая деталь Воздушный ползунок Керамическое воздухонаправляющее устройство
Система привода XY : сервопривод X : линейный двигатель Y : сервопривод
Макс. рабочая масса 4кг 50кг 50кг