Диапазон измерений:

  • Nanometro 300S — 300мм,
  • Nanometro 600S — 600мм,
  • Nanometro 1000S — 1000мм.

Общая погрешность:

  • Nanometro 300S — 0.15мкм,
  • Nanometro 600S — 0.3мкм,
  • Nanometro 1000S — 0.5мкм.